@book{UBHD-65932810, author={Paul, Anne}, title={Chemische Nanostrukturierung von Oberfl{\"a}chen}, year={2005}, pages={II, 124 S.}, language={ger}, note={Zsfassung in engl. Sprache}, school={Heidelberg, Univ., Diss., 2005}, keywords={Nanolithografie}, library={UB [Signatur: 2005 T 3]}, }