@book{UBHD-65883464, author={Patzner, Patrik}, title={Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie}, year={2004}, pages={VI, 146 S.}, language={ger}, note={Zsfassung in engl. Sprache}, school={Heidelberg, Univ., Diss., 2004}, library={UB [Signatur: 2005 U 116]}, } @book{UBHD-65898537, author={Patzner, Patrik}, title={Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie}, year={2005}, pages={Online-Ressource (159 Seiten)}, language={ger}, school={Heidelberg, Univ., Diss., 2004}, doi={10.11588/heidok.00005265}, url={http://www.ub.uni-heidelberg.de/archiv/5265}, library={UB}, }