@book{UBHD-65657823,
  author={Haag, Steffen},
  title={Ionenstrahlgest{\"u}tzte Abscheidung d{\"u}nner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung},
  year={2003},
  pages={Online-Ressource (55 S.)},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 2003},
  url={http://www.ub.uni-heidelberg.de/archiv/3867},
  library={UB},
}
@book{UBHD-65651798,
  author={Haag, Steffen},
  title={Ionenstrahlgest{\"u}tzte Abscheidung d{\"u}nner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung},
  year={2003},
  pages={213 Bl.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 2003},
  library={UB [Signatur: 2003 U 606]},
}