@book{UBHD-65128093, author={Pipper, J{\"u}rgen}, title={Ortsaufgel{\"o}ste Funktionalisierung von Siliciumhydrid-Oberfl{\"a}chen mit photolithographischen Methoden}, year={2000}, pages={134 Bl.}, language={ger}, school={Heidelberg, Univ., Diss., 2000}, keywords={Siliciumsensor / Hydrosilylierung / Funktionalisierung / Biopolymere / Maskentechnik}, library={UB [Signatur: 2000 U 684]}, }