@book{UBHD-9818494,
  author={Wetterauer, Ulrich},
  title={Stochastische und numerische Modellierung der Wachstumsprozesse bei der Abscheidung von amorphen, wasserstoffhaltigen Siliziumfilmen},
  year={1998},
  pages={VI, 118 S.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1998},
  library={UB [Signatur: 98 U 453]},
}