@book{UBHD-9627164,
  author={M{\"u}ller, Harald Heinrich},
  title={Lithographie mit Hexadecanthiol als hochaufl{\"o}sendem Resist f{\"u}r niederenergetische Elktronen},
  year={1996},
  pages={147 S.},
  language={ger},
  note={Nicht f{\"u}r den Austausch},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1996},
  library={UB [Signatur: 96 U 713]},
}