@book{UBHD-9627164, author={M{\"u}ller, Harald Heinrich}, title={Lithographie mit Hexadecanthiol als hochaufl{\"o}sendem Resist f{\"u}r niederenergetische Elktronen}, year={1996}, pages={147 S.}, language={ger}, note={Nicht f{\"u}r den Austausch}, school={Heidelberg, Univ., Diss., 1996}, library={UB [Signatur: 96 U 713]}, }