@book{UBHD-9613975,
  author={Szabadi, Martin},
  title={Lasergest{\"u}tzte Analyse von Silizium-Oberfl{\"a}chen mittels breitbandiger Rayleighwellen-Spektroskope},
  year={1995},
  pages={120 S.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1995},
  library={UB [Signatur: 96 U 289]},
}