@book{UBHD-2564996,
  author={Ehrensperger, Wilfried},
  title={Mikrolithographie auf rotierendem Substrat im tiefen Ultra-Violett},
  year={1989},
  pages={105 Bl.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1990},
  keywords={Lithografie <Halbleitertechnologie> / Ultraviolett},
  library={UB [Signatur: 90 U 423] ; UB [Signatur: 90 U 423]},
}