@book{UBHD-9619972,
  author={Barth, Michael},
  title={Ellipsometrische Untersuchung der ArF-Laser gest{\"u}tzten Abscheidung von amorphen, wasserstoffhaltigen Germaniumfilmen},
  year={1996},
  pages={XVI, 113 S.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1996},
  library={UB [Signatur: 96 U 526]},
}