@book{UBHD-2573831,
  author={Barth, Martin},
  title={Erzeugung und gezielte Modifikation d{\"u}nner Oberfl{\"a}chenschutzschichten mittels ionenstrahlgest{\"u}tzter Beschichtung},
  year={1990},
  pages={112 Bl.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1991},
  library={UB [Signatur: 92 U 616] ; UB [Signatur: 92 U 616]},
}