@book{UBHD-2573837,
  author={Hesch, Klaus},
  title={Abscheidung von amorphem, wasserstoffhaltigem Silizium mit dem CO2-Laser},
  year={1990},
  pages={119 S.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1991},
  library={UB [Signatur: 92 U 622] ; UB [Signatur: 92 U 622]},
}