@book{UBHD-2573854,
  author={Oeler, Johannes},
  title={Die Synthese von Silylgermanen als Prozeßgase f{\"u}r die CVD-Abscheidung zu Legierungshalbleitern},
  year={1991},
  pages={143 Bl.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1991},
  library={UB [Signatur: 92 U 639] ; UB [Signatur: 92 U 639]},
}