@book{UBHD-2569786,
  author={Weber, Aldo},
  title={Erzeugung von Oberfl{\"a}chenwellen auf Silizium mit Zinkoxid-Filmen},
  year={1991},
  pages={103 S.},
  language={ger},
  school={Heidelberg, Univ., Diss., 1991},
  keywords={Zinkoxid / Oberfl{\"a}chenwelle / Silicium},
  library={UB [Signatur: 91 U 467] ; UB [Signatur: 91 U 467]},
}