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| Verfasst von: | Ehrensperger, Wilfried  |
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| Titel: | Mikrolithographie auf rotierendem Substrat im tiefen Ultra-Violett |
| Verf.angabe: | vorgelegt von Wilfried Ehrensperger |
| Jahr: | 1989 |
| Umfang: | 105 Bl. |
| Illustrationen: | Ill., graph. Darst. |
| Hochschulschrift: | Heidelberg, Univ., Diss., 1990 |
| Schlagwörter: | (s)Lithografie <Halbleitertechnologie> / (s)Ultraviolett |
| Dokumenttyp: | Hochschulschrift |
| Sprache: | ger |
| K10plus-PPN: | 1090602014 |
| Signatur | QR | Standort | Status | |
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| 90 U 423 |  | Hauptbibliothek Altstadt / Ausweichmagazin | bestellbar | |
| Nat., 2 Ex. von 40. - Mediennummer: 02564996 | ||||
| 90 U 423;;Archiv-Ex | | Hauptbibliothek Altstadt / Ausweichmagazin | nicht ausleihbar | |
| Nat., 2 Ex. von 40. - Mediennummer: 02564531 | ||||
