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Verfasst von: | Haag, Steffen ![]() |
Titel: | Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung |
Verf.angabe: | Steffen Haag |
Jahr: | 2003 |
Umfang: | Online-Ressource (55 S.) |
Hochschulschrift: | Heidelberg, Univ., Diss., 2003 |
URL: | Volltext: http://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/3867/1/Diss_Kap1u2.PDF |
Datenträger: | Online-Ressource |
Dokumenttyp: | Hochschulschrift |
Sprache: | ger |
Bibliogr. Hinweis: | Erscheint auch als : Druck-Ausgabe: Haag, Steffen: Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung. - 2003. - 213 Bl. |
Sonstige Nr.: | Opus-Nr.: HDUB-opus-3867 |
K10plus-PPN: | 1643495062 |
Lokale URL UB: | ![]() |
Notiz: | Elektronischer Volltext - Zugang über WWW |