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 Online-Ressource | |
| Verfasst von: | Patzner, Patrik  |
| Titel: | Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie |
| Verf.angabe: | Patrik Patzner |
| Jahr: | 2005 |
| Umfang: | Online-Ressource (159 Seiten) |
| Weitere Titel: | Übers. d. Hauptsacht.: Real-time analysis of the photo-induced growth of silicon oxide by spectroscopic ellipsometry and FTIR spectroscopy |
| Hochschulschrift: | Heidelberg, Univ., Diss., 2004 |
| DOI: | doi:10.11588/heidok.00005265 |
| URL: | kostenfrei: Volltext: https://doi.org/10.11588/heidok.00005265 |
| kostenfrei: Volltext: https://archiv.ub.uni-heidelberg.de/volltextserver/5265/ | |
| DOI: https://doi.org/10.11588/heidok.00005265 | |
| URN: | urn:nbn:de:bsz:16-opus-52655 |
| Datenträger: | Online-Ressource |
| Dokumenttyp: | Hochschulschrift |
| Sprache: | ger |
| Bibliogr. Hinweis: | Erscheint auch als : Druck-Ausgabe: Patzner, Patrik: Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie. - 2004. - VI, 146 S. |
| Sonstige Nr.: | Opus-Nr.: HDUB-opus-5265 |
| K10plus-PPN: | 1643942476 |
| Lokale URL UB: |  Zum Volltext |
