Status: Bibliographieeintrag
Titel: | High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip |
Mitwirkende: | Löffler, Felix  |
| Wagner, Jennifer  |
| Hausmann, Michael  |
Verf.angabe: | Löffler, F., Wagner, J. ... Hausmann, M. ... |
Jahr: | 2011 |
Umfang: | 10 S. |
Titel Quelle: | In: Aerosol science and technology |
Ort Quelle: | Philadelphia, Pa. : Taylor & Francis, 1982 |
Jahr Quelle: | 2011 |
Band/Heft Quelle: | 45(2011), Seite 65-74 |
ISSN Quelle: | 0278-6826 |
Sprache: | eng |
Bibliogr. Hinweis: | Erscheint auch als : Online-Ausgabe: Löffler, Felix: High-Precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip. - 2011 |
K10plus-PPN: | 1629180149 |
Verknüpfungen: | → Zeitschrift |
High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip / Löffler, Felix; 2011
67205537