Status: Bibliographieeintrag
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Exemplare:
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| |  Online-Ressource |
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| Verfasst von: | Franke, Sebastian [VerfasserIn]  |
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| | Beck, Sebastian [VerfasserIn] |
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| | Pucci, Annemarie [VerfasserIn] |
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| Titel: | Alumina films as gas barrier layers grown by spatial atomic layer deposition with trimethylaluminum and different oxygen sources |
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| Verf.angabe: | Sebastian Franke, Matthias Baumkötter, Carsten Monka, Sebastian Raabe, Reinhard Caspary, Hans-Hermann Johannes, Wolfgang Kowalsky, Sebastian Beck, Annemarie Pucci, Hassan Gargouri |
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| Jahr: | 2017 |
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| Jahr des Originals: | 2016 |
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| Umfang: | ? S. |
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| Fussnoten: | Published onine December 2016 ; Gesehen am 24.04.2018 |
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| Titel Quelle: | Enthalten in: Journal of vacuum science & technology / A |
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| Ort Quelle: | New York, NY : Inst., 1983 |
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| Jahr Quelle: | 2016 |
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| Band/Heft Quelle: | 35.2016(2017) Artikel-Nummer 01B117 |
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| ISSN Quelle: | 1520-8559 |
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| DOI: | doi:10.1116/1.4971173 |
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Volltext ; Verlag: http://dx.doi.org/10.1116/1.4971173 |
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| | Volltext: https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.4971173 |
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| | DOI: https://doi.org/10.1116/1.4971173 |
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| Datenträger: | Online-Ressource |
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| Sprache: | eng |
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| K10plus-PPN: | 1572339292 |
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| Verknüpfungen: | → Zeitschrift |
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Alumina films as gas barrier layers grown by spatial atomic layer deposition with trimethylaluminum and different oxygen sources / Franke, Sebastian [VerfasserIn]; 2017 (Online-Ressource)
68246193
