Status: Bibliographieeintrag
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Exemplare:
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| |  Online-Ressource |
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| Verfasst von: | Behrendt, Frank [VerfasserIn]  |
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| | Deutschmann, Olaf [VerfasserIn] |
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| | Ruf, Bernhard [VerfasserIn] |
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| | Warnatz, Jürgen [VerfasserIn] |
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| Titel: | Numerical study of apparent activation energies of diamond growth rates in hot filament chemical vapor deposition systems |
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| Verf.angabe: | Frank Behrendt, Olaf Deutschmann, Bernhard Ruf, Jürgen Warnatz |
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| Jahr: | 1996 |
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| Umfang: | 5 S. |
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| Fussnoten: | Elektronische Reproduktion der Druck-Ausgabe 4. Juni 1998 ; Gesehen am 19.04.2023 |
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| Titel Quelle: | Enthalten in: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films |
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| Ort Quelle: | New York, NY : Inst., 1983 |
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| Jahr Quelle: | 1996 |
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| Band/Heft Quelle: | 14(1996), 3, Seite 1604-1608 |
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| ISSN Quelle: | 1520-8559 |
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| DOI: | doi:10.1116/1.580304 |
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Volltext: https://doi.org/10.1116/1.580304 |
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| | Volltext: https://avs.scitation.org/doi/10.1116/1.580304 |
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| | DOI: https://doi.org/10.1116/1.580304 |
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| Datenträger: | Online-Ressource |
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| Sprache: | eng |
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| K10plus-PPN: | 1843155516 |
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| Verknüpfungen: | → Zeitschrift |
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Numerical study of apparent activation energies of diamond growth rates in hot filament chemical vapor deposition systems / Behrendt, Frank [VerfasserIn]; 1996 (Online-Ressource)
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