Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern

• Verfasst von: Gölzhäuser, Armin
• Verfasst von: Müller, Harald U.
• Verfasst von: David, Christian
• Titel: Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern
• Titelzusatz: Abschlußbericht
• Verf.angabe: von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David
• Verlagsort: Heidelberg
• Verlag: Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie
• Jahr: 1997
• Umfang: 11 Bl.
• Illustrationen: graph. Darst.
• Gesamttitel/Reihe: Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
• Fussnoten: Förderkennzeichen BMBF 13N6186 ; Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden ; Auch als elektronisches Dokument vorh
• Dokumenttyp: Forschungsbericht
• Sprache: ger
• Sonstige Nr.: Identnummer: 13N6186
• K10plus-PPN: 23461000X