Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern

• Titel: Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern
• Titelzusatz: Abschlußbericht
• Mitwirkende: Gölzhäuser, Armin
• Mitwirkende: Müller, Harald U.
• Mitwirkende: David, Christian
• Verf.angabe: von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David
• Ausgabe: [Electronic ed.]
• Verlagsort: Heidelberg
• Verlag: Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie
• Jahr: 1997
• Umfang: 13 p. = 196 kB, text and images
• Gesamttitel/Reihe: Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
• Fussnoten: Contract no.: BMBF 13N6186 ; nIndex ; Differences between the printed and electronic version of the document are possible
• Datenträger: Online-Ressource
• Dokumenttyp: Forschungsbericht
• Sprache: ger
• Sonstige Nr.: Identnummer: 13N6186
• K10plus-PPN: 236598082

Abstract

Die einzigartigen Eigenschaften ultrascharfer Feldemitterquellen als Quellen für Elektronen und Ionen sollten zur Strukturierung im Nanometerbereich angewandt werden. Neben der Entwicklung der lithographischen Methode sollten auch bei der Wahl der Resist/Substrat-Systeme neue Wege beschritten werden. Im Verlauf des Projektes wurde die Untersuchung der Vorgänge bei der Elektronenbelichtung eine weitere Aufgabe, die notwendig war um die komplexen Prozesse bei der Nanostrukturierung mit Nahsondenmethoden zu verstehen und zu optimieren