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| Ansetzungsform: | CVD-Verfahren |
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| SWD: | 4009846-1 |
| GND: | 4009846-1 |
| PPN (SWB): | 104409770 |
| Quelle: | B 1986 |
| SWD-Systematiknummer: | 31.10;31.8a;31.9b |
| Notation DDC: | 671.735 |
| Alternativformen: | Chemical vapor deposition Dépôt chimique en phase vapeur |
| Verweisungsformen allg.: | Chemical vapor deposition Chemische Dampfablagerung CVD Chemische Gasphasenabscheidung |
| Übergeordnete Bezeichnung: | Aufdampfen |
| Verwandter Begriff: | Aufdampfen |
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