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| Ansetzungsform: | Dünnschichttechnik |
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| SWD: | 4136339-5 |
| GND: | 4136339-5 |
| PPN (SWB): | 105658251 |
| Quelle: | B 1986 |
| SWD-Systematiknummer: | 31.9b;31.8a |
| Notation DDC: | 621.38152 |
| Alternativformen: | Thin film devices Dispositifs à couches minces |
| Verweisungsformen allg.: | Dünnfilmtechnik Dünnfilmtechnologie |
| Übergeordnete Bezeichnung: | Schichttechnik |
| Verwandter Begriff: | Schichttechnik |
DNB: Deutsche Nationalbibliothek
