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Universitätsbibliothek Heidelberg

Schlagwort-Information

Index-Eintrag in HEIDI

Ansetzungsform:Sputtern
SWD:4182614-0
GND:4182614-0
PPN (SWB):105309141
Quelle:- Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Benutzungshinweis:Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
SWD-Systematiknummer:31.8a;31.9b
Notation DDC:530.416;667.9
Alternativformen:Sputtering (Physics)
Pulvérisation cathodique
Verweisungsformen allg.:Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Sputterverfahren
Übergeordnete Bezeichnung:Zerstäubung
PVD-Verfahren
Verwandter Begriff:Zerstäubung
PVD-Verfahren

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