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| Ansetzungsform: | Nanolithografie |
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| SWD: | 4706129-7 |
| GND: | 4706129-7 |
| PPN (SWB): | 35614822X |
| Quelle: | Internet |
| Definition: | aHerstellungsverfahren für Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich |
| SWD-Systematiknummer: | 21.5;31.1d;31.9b |
| Notation DDC: | 537.6221;621.38152;620.5;621.381531 |
| Alternativformen: | Nanolithography Nanolithographie |
| Verweisungsformen allg.: | Nanolithographie Nanolithography |
| Übergeordnete Bezeichnung: | Nanotechnologie |
| Verwandter Begriff: | Lithografie <Halbleitertechnologie> Nanotechnologie |
DNB: Deutsche Nationalbibliothek
