Müller, Harald U. Dr.Universität HeidelbergHeidelberg
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- Gölzhäuser, Armin: Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern : Abschlußbericht / von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David. - [Electronic ed.]. -
Heidelberg: Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie, 1997. - 13 p. = 196 kB, text and images
(Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie)
- Gölzhäuser, Armin: Herstellung von SET-Bauteilen durch Nanostrukturierung mit ultrascharfen Feldemittern : Abschlußbericht / von Armin Gölzhäuser; Harald U. Müller; Christian David. -
Heidelberg: Univ., Lehrstuhl für Angewandte Physikal. Chemie, 1997. - 11 Bl. : graph. Darst.
(Physikalische Technologien / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie)
- Müller, Harald U.: Lithographie mit Hexadecanthiol als hochauflösendem Resist für niederenergetische Elektronen / vorgelegt von Harald Ulrich Müller, 1996. - 146 S. : graph. Darst.
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